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精密位置決めユニット

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スイベルテーブル

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アルミ素材で軽量化を図り、又、ボールネジの
使用により細かい分解能で送りをすることができます。

XYテーブル装置（2軸）

ボンドステージ用XYテーブル

ボンドステージ用XYテーブル

ボンドステージ用XYテーブル

リニアモーター式 XYテーブル装置

半導体製造機用 大型XYテーブル

半導体製造機用 大型XYテーブル

リニアモータースライド

リニアモータースライド